중고 반도체 장비 전문 기업 아스카인덱스 코리아는 최근 일본 소재 반도체 공장에서 니콘(Nikon)의 노광장비 'FX-702J' 스테퍼와 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT)의 식각장비 'Centura DPS'를 해체·반출하고, 이를 한국 고객사로 수출하는 작업을 턴키 방식으로 수행했다.

두 장비는 전공정의 핵심 단계를 맡는다. 노광 공정에서 기판 위에 회로 패턴을 그리면, 식각 공정에서 그 패턴대로 불필요한 부분을 깎아낸다. 이번 작업은 회로를 '그리는' 장비와 '깎는' 장비를 한 현장에서 함께 해체해 옮긴 사례다.

FX-702J는 포토마스크의 회로 패턴을 빛으로 기판에 한 구역씩 옮겨 가며 반복 노광하는 스테퍼(Stepper)다. 니콘의 FPD(평판 디스플레이)용 스테퍼 라인업에 속하는 모델로, i-line 광원을 쓰고 600×720mm 크기 기판을 처리하며 해상도(선폭·간격 기준)는 1.5µm다.

Centura DPS는 AMAT의 멀티챔버 플랫폼 'Centura'에 DPS(Decoupled Plasma Source) 식각 챔버를 갖춘 2000년대 초반 연식의 폴리실리콘 식각장비다. DPS는 플라즈마를 만드는 전력과 웨이퍼 쪽 바이어스 전력을 따로 제어하는 방식으로, 1990년대 중반 출시 이후 게이트·소자분리(STI) 등 실리콘 계열 식각에 널리 쓰였다. 성숙 공정 라인에서는 지금도 수요가 이어지고 있다.

전공정 장비는 후공정 장비나 범용 설비보다 이설 난도가 높다. 클린룸 규정을 지키며 작업해야 하고, 장비마다 관리해야 할 위험 요소도 다르다. 식각장비는 공정가스를 쓰던 장비인 만큼 해체 전 무해화 확인이 필수이고, 노광장비는 정밀 광학계와 스테이지를 품고 있어 진동과 충격에 특히 민감하다. 본체와 부대 장치가 클린룸과 서브팹(클린룸 하부 유틸리티 층) 등 여러

층에 나뉘어 있어 층별 반출 계획도 따로 세워야 한다.

작업은 식각장비의 무해화 확인에서 시작됐다. 배관과 챔버 내부의 잔류 가스 처리가 끝났음을 확인한 뒤, 방진복을 입은 엔지니어들이 클린룸에서 재설치를 전제로 장비를 순서대로 분리했다. 분리한 모듈과 부품은 장비 특성에 맞춰 필름과 대전방지 포장재로 감쌌다.

Centura DPS는 메인프레임, 시스템 컨트롤러, AC 제너레이터 랙, 칠러 2대 등 12개 품목으로 나눠 반출됐다. 예상 총중량은 약 3.9톤으로, 메인프레임만 약 2.4톤에 이른다. 품목마다 관리번호·모델·연식·매뉴얼 동봉 여부 등을 적은 출하표를 붙여 도착 후 검수 기준으로 삼았다.

배관이 밀집한 서브팹에서는 통로 폭과 품목 크기에 맞춰 인력과 핸드파레트, 대차를 병행해 부대 장치를 옮겼다. 반출 동선에는 블루시트와 철판을 깔아 바닥을 보호하고 하중을 분산했으며, 2톤이 넘는 메인프레임 같은 중량물은 무게중심과 이동 경로를 사전에 계산해 도비(중량물 운반) 작업으로 옮겼다. 반출 당일에는 작업 전 안전회의(TBM)를 거쳐 아스카인덱스 보유 지게차와 핸드파레트를 투입하고, 전문 운송사와 함께 상차를 마쳤다. 두 장비는 수출 통관을 거쳐 해외 고객사에 인도될 예정이다.

해외 중고 장비를 들여오려면 통상 매도처와 해체·도비·포장 업체, 운송사, 통관사 등 여러 주체가 관여한다. 주체가 바뀔 때마다 파손 책임 소재가 불분명해지거나 일정이 지연될 위험이 생긴다. 아스카인덱스 코리아는 장비 매입부터 해체, 포장, 이설·도비, 운송, 수출 서류 준비와 수출 규제 해당 여부 확인, 통관·선적까지 전 과정을 한 팀이 맡는 턴키 방식을 운영한다. 일본 현지 작업은 아스카인덱스 본사 현장팀이, 한국 고객 대응과 일정 조율은 아스카인덱스 코리아가 담당한다.

아스카인덱스 코리아 관계자는 "중고 장비 거래의 성패는 장비 가격보다 실행에서 갈린다"며 "최근 중고 장비 공급이 빠듯해지면서 좋은 장비를 제때 확보해 안전하게 옮겨 오는 역량이 더 중요해진 만큼, 노광·식각처럼 성격이 다른 전공정 장비도 매입부터 수출까지 한 창구에서 책임지는 체계로 국내 제조사와 연구기관의 해외 장비 도입 부담을 덜겠다"고 말했다.

■ 아스카인덱스 코리아 소개
아스카인덱스 코리아는 일본 아스카인덱스(株式会社アスカインデックス)의 한국 창구로, 중고 반도체·전자 설비의 매입·판매와 해체·이설·수출 서비스를 제공한다. 일본 아스카인덱스는 1995년 설립된 도쿄 본사의 설비 전문 기업으로, 설비 매입·판매, 클린룸 설계·시공, 공장 전체 철거 공사 등을 수행하며 야마나시·규슈·대만에서 테크니컬센터를 운영하고 있다.